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ガルバノスキャナーは、エンコーダーを使用してミラー位置をフィードバックします。しかし、ポリゴンスキャナーの動作はまったく異なります。ほとんどのポリゴンスキャナーにはエンコーダーがありません。エンコーダーがあるスキャナーは通常、低速で動作し、BDCモーターコントローラーにフィードバックを提供する増分エンコーダーを備えているため、モーターはスムーズに回転します。シャフトに取り付けられたエンコーダーでは、ポリゴンスキャナーで高精度のミラー位置を検出できません。1つの理由は、シャフトの振れによってエンコーダーエラーが発生するためです。もう1つの理由は、ポリゴンミラーに面間のエラーがあるためです。さらに、一般的なエンコーダーは、最速のポリゴンスキャナーの速度では動作しません。幸いなことに、SOS検出システムがこれらの問題をすべて解決します。ガルバノスキャナーは、コマンドに応じて開始、停止、および逆転する必要があります。ポリゴンスキャナーは、一定速度で動作するように設計されています。したがって、スキャン開始時にビームがどこにあるかがわかっていれば、スキャン中のビームの位置はクロックタイミングでわかります。スキャン開始検出は次のように機能します。ビームが作業領域に入る直前に、スキャン開始 (SOS) 検出器と呼ばれる検出器を通過します。SOSパルスは、そのスキャンのクロックタイミングを開始するために使用されます。ポリゴンの次の面が来ると、別のSOSパルスがトリガーされます。面間の角度誤差はありますが、問題ではありません。SOSパルスは、ビームの位置をシステムに通知します。そのため、すべての作業スキャンは、他のスキャンと非常に正確に一致します。

※PDF容量は順に1.06MB、1.53MBです。