超高解像度アプリケーション向けスキャンオプティクス
従来の対物レンズをMSE-G2に交換するだけで、マイクロスポットスキャンシステムにアップグレードできます。ガルバノスキャナーとMSE-G2を組み合わせると、焦点直径4μm未満の高精度加工が可能になります。これにより、比類のない精度と詳細レベルで最小のコンポーネントを製造できます。IR、VISだけでなくUVレーザー用のシステムも提供しています。
マイクロスポットスキャン
MSE-G2マイクロスポット光学系は、ガルバノスキャナーのシンプルな拡張機能として同軸カメラを搭載しています。