高速・高精度 微細加工用ハイエンドスキャンヘッド
SCANLAB独自のSCANaheadコントロール技術と高性能デジタルエンコーダー搭載ガルバノスキャナーの統合により、精密スキャニングを実現。高速微細加工時の描画歪を軽減し、マイクロメートルレベルの高速微細加工が可能です。
SCANaheadコントロール
ガルバノスキャナー走査前に指令信号と実際の動きを比較シミュレーション、最適なパラメーターを自動計算します。低速スキャン時にも高加速度を実現し、立ち上がり時間を低減。高速・微細加工時のトラッキングエラーによる描画歪を大きく改善し、微細加工の高速化が可能です。また、各ディレイ値を自動計算・入力するため、ディレイ値の手動入力不要。高精度・高速微細加工をより簡単にお使い頂けます。
加工比較①
左画像）従来機による加工。トラッキングエラーによるコーナー部の丸まりが発生。
右画像）同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。
加工比較②
左画像） 従来機による加工。ミラーが追従できずトラッキングエラーによる円歪みが発生。
右画像） 同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。