レーザースキャニングソリューション 株式会社スキャンソル

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製品情報

高速微細ベクタ加工用次世代スキャンヘッド

excelliSCAN

SCANLAB独自のコントロール技術と高性能デジタルエンコーダ搭載ガルバノスキャナの統合により、トラッキングエラー=0の精密スキャニングを実現。高速微細加工時の描画歪を軽減し、マイクロメートルレべルの高速微細加工が可能です。

SCANahead®コントロール

ガルバノスキャナ走査前に指令信号と実際の動きを比較シミュレーション、最適なパラメータを自動計算します。低速スキャン時にも高加速度を実現し、立ち上がり時間を低減。高速・微細加工時のトラッキングエラーによる描画歪を大きく改善し、微細加工の高速化が可能です。また、各ディレイ値を自動計算・入力するため、ディレイ値の手動入力不要。高精度・高速微細加工をより簡単にお使い頂けます。

加工比較 ①

左画像)従来機による加工。トラッキングエラーによるコーナー部の丸まりが発生。
右画像)同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。

加工比較 ②

左画像) 従来機による加工。ミラーが追従できずトラッキングエラーによる円歪みが発生。
右画像) 同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。

基本仕様

入射ビーム径 14mm
トラッキングエラー 0
ジャンプ速度 <30m/s
加速度 51000 m/s²

アプリケーション例

  • 高速・微細ベクタ加工

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